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產品詳情
簡單介紹：
本型號等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗，本設備配備換位自轉式樣品臺，用戶可以在觸控屏上實現一鍵換位，樣品臺可在兩個靶位自由切換，本設備體積小巧造型美觀功能強大，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇
詳情介紹：
本型號等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，便于學習使用。本設備配備換位自轉式樣品臺，用戶可以在觸控屏上實現一鍵換位，樣品臺可在兩個靶位自由切換，到位后樣品臺還可進行自轉，以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監測，以提高鍍膜的精準度。
本設備體積小巧造型美觀功能強大，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
離子濺射儀技術參數：
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項目 |
明細 |
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產品型號 |
CY-PSP180G-1TA-SWR（switch換位rotate旋轉） |
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樣品臺 |
直徑φ60mm， 可在兩個靶位間自動切換 |
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直流濺射頭 |
2”x1 |
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腔體材質 |
高純石英 |
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腔體尺寸 |
φ180mm X 150mm |
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真空泵 |
旋片泵 |
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極限真空 |
1.0E-1Pa |
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真空接口 |
KF16真空法蘭 |
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進氣口 |
φ6.35卡套接頭 |
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供電電源 |
AC 220V 50Hz |
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整機功率 |
1.5KW/2KW（旋轉加熱） |
