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○ 產品介紹
TN-PSP180G-TA小型單靶等離子濺射鍍膜儀采用二級濺射方式，低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，便于學習使用。
○ 適用范圍
廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。
○ 產品特點
1：二級低溫等離子體濺射工藝
2：PLC控制系統，全部觸摸屏操作。
3：體積小巧造型美觀。
○ 技術參數
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產品型號 |
TN-PSP180G-TA |
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外形尺寸 |
500×320×470mm |
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重量 |
30kg |
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電源 |
220V 50Hz |
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輸入功率 |
1500W（含真空泵） |
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輸出電壓 |
1200V DC |
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輸出電流 |
50mA（Max電流） |
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鍍膜腔尺寸 |
Φ180×210mm |
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樣品臺尺寸 |
Φ100mm 可選購加熱型樣品臺，溫度可高達500℃，*長濺射時間不可超過5分鐘 |
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真空泵 |
雙極旋片真空泵，1.1L/s（4m3/h） |
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進氣口 |
裝有精密可調針閥，得以方便的調節進氣量 |
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靶材尺寸 |
Φ50mm，厚度0.5~3mm |
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靶材材質 |
可選Au、Ag、Pt、Cr、Ni |
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包裝 |
三合板木質包裝 |
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